Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Gardado en:
Autor Principal: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Formato: | Книга |
Темы: | |
Acceso en liña: | Перейти к просмотру издания |
Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
Títulos similares
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
por: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
por: Лозовский В. Н.
Publicado: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
por: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
por: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие