Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
保存先:
第一著者: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
フォーマット: | Книга |
主題: | |
オンライン・アクセス: | Перейти к просмотру издания |
タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
類似資料
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
著者:: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
著者:: Лозовский В. Н.
出版事項: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
著者:: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
著者:: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие