Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Formaat: | Книга |
Onderwerpen: | |
Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
Gelijkaardige items
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
door: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
door: Лозовский В. Н.
Gepubliceerd in: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
door: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
door: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие