Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Zapisane w:
1. autor: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: | Перейти к просмотру издания |
Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
Podobne zapisy
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
od: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
od: Лозовский В. Н.
Wydane: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
od: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
od: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие