Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Sparad:
Huvudupphovsman: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Materialtyp: | Книга |
Ämnen: | |
Länkar: | Перейти к просмотру издания |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
Liknande verk
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
av: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
av: Лозовский В. Н.
Publicerad: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
av: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
av: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие