Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Gardado en:
Autor Principal: | |
---|---|
Formato: | Книга |
Темы: | |
Acceso en liña: | Перейти к просмотру издания |
Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|