Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Teme: | |
| Online pristup: | Перейти к просмотру издания |
| Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|