Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | |
---|---|
Formaat: | Книга |
Onderwerpen: | |
Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|