Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Materialtyp: | Книга |
Ämnen: | |
Länkar: | Перейти к просмотру издания |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|