Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий учебно-методическое пособие
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техн...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02648nam0a2200409 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/97909 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/97909.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 2227-8397 | ||
| 205 | |a Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий |b 2025-12-16 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 16.12.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2015 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий |e учебно-методическое пособие |f О. И. Рабинович, Д. Г. Крутогин, С. В. Подгорная, С. Ф. Маренкин | |
| 701 | 1 | |a Рабинович, |b О. И. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Крутогин, |b Д. Г. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Подгорная, |b С. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Маренкин, |b С. Ф. |4 070 | |
| 330 | |a В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ. | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2015 | ||
| 610 | 1 | |a микротехнология | |
| 610 | 1 | |a нанотехнология | |
| 610 | 1 | |a эпитаксия | |
| 610 | 1 | |a электроника | |
| 610 | 1 | |a тонкая пленка | |
| 610 | 1 | |a химический метод | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 89 с. | ||