Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий учебно-методическое пособие
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техн...
Spremljeno u:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Teme: | |
| Online pristup: | Перейти к просмотру издания |
| Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|