Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализ...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03996nam0a2200409 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/98081 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/98081.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 2227-8397 | ||
| 205 | |a Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций |b 2025-12-16 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 16.12.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2008 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций |e курс лекций |f Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова | |
| 700 | 1 | |a Кузнецов, |b Г. Д. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Симакин, |b С. Б. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Демченкова, |b Д. Н. |4 070 | |
| 330 | |a В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы». | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2008 | ||
| 610 | 1 | |a пленочная гетерокомпозиция | |
| 610 | 1 | |a микротехнология | |
| 610 | 1 | |a нанотехнология | |
| 610 | 1 | |a наноструктура | |
| 610 | 1 | |a пленочный материал | |
| 610 | 1 | |a ионный процесс | |
| 610 | 1 | |a электроника | |
| 675 | |a 539 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 191 с. | ||