Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Ч.3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел курс лекций
В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ион...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Книга |
| Konular: | |
| Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| Fiziksel Özellikler: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 2227-8397 |