Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Даны краткая история и пути и перспективы развития микроэлектроники, в частности, в области технологии эпитаксиальных гетерокомпозиций. Кратко описаны процессы парофазной эпитаксии химическим осаждением и жидкофазной эпитаксии кремния, соединений ΑIIIΒV и их твердых растворов, применяемого оборудова...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Fag: | |
| Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| Fysisk beskrivelse: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 2227-8397 |