Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Даны краткая история и пути и перспективы развития микроэлектроники, в частности, в области технологии эпитаксиальных гетерокомпозиций. Кратко описаны процессы парофазной эпитаксии химическим осаждением и жидкофазной эпитаксии кремния, соединений ΑIIIΒV и их твердых растворов, применяемого оборудова...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03605nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/98133 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/98133.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 2227-8397 | ||
| 205 | |a Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций |b 2025-12-16 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 16.12.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2001 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций |e учебно-методическое пособие |f Л. В. Кожитов, В. В. Крапухин, В. А. Улыбин | |
| 700 | 1 | |a Кожитов, |b Л. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Крапухин, |b В. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Улыбин, |b В. А. |4 070 | |
| 330 | |a Даны краткая история и пути и перспективы развития микроэлектроники, в частности, в области технологии эпитаксиальных гетерокомпозиций. Кратко описаны процессы парофазной эпитаксии химическим осаждением и жидкофазной эпитаксии кремния, соединений ΑIIIΒV и их твердых растворов, применяемого оборудования. Приведены математические модели этих процессов, включающие термодинамический и кинетический блоки. При получении гетерокомпозиций учитываются упругие напряжения и рассматриваются пути их устранения, в частности, создание изопериодных композиций и сверхрешеток. Кроме того, приведены восемь комплексных задач для самостоятельного вычислительного эксперимента при выборе параметров процесса, а также процедура решения задач с использованием разработанного пакета программ на ПЭВМ. Предназначено для студентов, обучающихся по специальности 200100 (направление 654100), а также для научных сотрудников и инженеров-технологов, занимающихся разработкой систем управления и оптимизации технологических процессов. | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2001 | ||
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a гетерокомпозиция | |
| 610 | 1 | |a парофазная эпитаксия | |
| 610 | 1 | |a твердотельная электроника | |
| 610 | 1 | |a жидкофазная эпитаксия | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 157 с. | ||