Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
Даны краткая история и пути и перспективы развития микроэлектроники, в частности, в области технологии эпитаксиальных гетерокомпозиций. Кратко описаны процессы парофазной эпитаксии химическим осаждением и жидкофазной эпитаксии кремния, соединений ΑIIIΒV и их твердых растворов, применяемого оборудова...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Aiheet: | |
| Linkit: | Перейти к просмотру издания |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|