Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы лабораторный практикум
Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использов...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03475nam0a2200421 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/98226 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/98226.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 2227-8397 | ||
| 205 | |a Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы |b 2025-12-16 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 16.12.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2007 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы |e лабораторный практикум |f Г. Д. Кузнецов, С. П. Курочка, А. Р. Кушхов [и др.] | |
| 701 | 1 | |a Кузнецов, |b Г. Д. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Курочка, |b С. П. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Кушхов, |b А. Р. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Демченкова, |b Д. Н. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Курочка, |b А. С. |4 070 | |
| 330 | |a Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2007 | ||
| 610 | 1 | |a микротехнология | |
| 610 | 1 | |a нанотехнология | |
| 610 | 1 | |a металлическая пленка | |
| 610 | 1 | |a гетероструктура | |
| 610 | 1 | |a электронная эмиссия | |
| 610 | 1 | |a диэлектрическая пленка | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 141 с. | ||