Элионная технология в микро- и наноиндустрии курс лекций
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – фор...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Книга |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|
