Элионная технология в микро- и наноиндустрии курс лекций
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – фор...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | Книга |
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | Перейти к просмотру издания |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|