Элионная технология в микро- и наноиндустрии курс лекций
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – фор...
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|