Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств
С развитием высоких технологий становится реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе микронных и субмикронных многослойных схем. На основе классификации формирования ТЭУ на плоских (2D) и квазиобъемных (квази-3D) подложках рассмотрены основные принципы и характеристики техно...
Сохранить в:
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | Книга |
Темы: | |
Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|