Наноразмерные ионно-легированные структуры арсенида галлия для твердотельных СВЧ устройств учебное пособие
Ионная имплантация арсенида галлия позволяет изготавливать наноразмерные локальные активные, резистивные и изолирующие области в монокристаллическом и эпитаксиальном арсениде галлия в промышленной установке ионного легирования, где осуществляется изготовление элементов ИС СВЧ. Учебное пособие посвящ...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|