Influence of magnetron sputtering conditions on the structure and surface morphology of InxGa1–xAs thin films on a GaAs (100) substrate

Influence of magnetron sputtering conditions on the structure and surface morphology of InxGa1–xAs thin films on a GaAs (100) substrate

We present the results of the study of the structure and surface morphology of In x Ga1–x As thin films on a GaAs substrate. Thin films were obtained by magnetron sputtering from a specially formed In 0.45 Ga 0.55 As target in an argon atmosphere. The obtained samples of thin films were studied by...

Fuld beskrivelse

Сохранить в:

Bibliografiske detaljer
Главные авторы:	Devitsky, O. V., Девицкий, О. В., Zakharov, A. A., Захаров, А. А., Lunin, L. S., Лунин, Л. С., Sysoev, I. A., Сысоев, И. А., Pashchenko, A. S., Пащенко, А. С., Vakalov, D. S., Вакалов, Д. С., Chapura, O. M., Чапура, О. М.
Format:	Статья
Sprog:	Russian
Udgivet:	2023
Fag:	Magnetron sputtering A 3 B 5 compounds Thin films Surface morphology Raman scattering
Online adgang:	https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/22295
Tags:	Tilføj Tag Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!

Lignende værker

The influence of different parameters of magnetron sputtering on the structure and chemical composition of titanium alloy implant surfaces
af: Tarala, V. A., и др.
Udgivet: (2020)

Pulsed magnetron sputtering and ion-induced annealing of carbon films
af: Shevchenko, E. F., и др.
Udgivet: (2018)

Investigation of the phase structure and surface morphology of the titanium nano-structured coatings for dental implants deposited by the method of magnetron sputtering
af: Tarala, V. A., и др.
Udgivet: (2018)

Pulsed laser deposition of AlxGa1–xAs and GaP thin films onto Si substrates for photoelectric converters
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2018)

Peculiarities of growing Ga1–xInxAs solid solutions on GaAs substrates in the field of a temperature gradient through a thin gas zone
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2023)

Growth of nanotextured thin films of GaInAsP and GaInAsSbBi solid solutions on GaP substrates by pulsed laser deposition
af: Pashchenko, A. S., и др.
Udgivet: (2023)

Structure and morphology of GaInAsP solid solutions on GaAs substrates grown by pulsed laser deposition
af: Pashchenko, A. S., и др.
Udgivet: (2022)

Ion-beam crystallization of inGaAs island nanostructures on GaAs substrates
af: Sysoev, I. A., и др.
Udgivet: (2019)

Epitaxial growth of GaInAsBi thin films on Si (001) substrate using pulsed laser deposition
af: Pashchenko, A. S., и др.
Udgivet: (2024)

Study of the composition of GaAs1-yBiy films obtained by pulsed laser deposition
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2022)

Effect of nitrogen pressure on the composition and structure of thin films GaAs1 - x - yNxBiy
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2024)

EFFECT OF BISMUTH CONTENT ON THE STRUCTURAL AND ELECTRONIC PROPERTIES OF GaAs1-yBiy: FIRST PRINCIPLES CALCULATIONS
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2024)

Effect of the Ag nanoparticle concentration in TiO2–Ag functional coatings on the characteristics of GaInP/GaAs/Ge photoconverters
af: Kravtsov, A. A., и др.
Udgivet: (2018)

STRUCTURE AND COMPOSITION OF THIN GaAs1-x-yNxBiy FILMS PRODUCED BY PULSED LASER DEPOSITION
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2023)

The Study of GaInAsP/InP Heterostructures with an Array of InAs Nanoislands
af: Lunin, L. S., и др.
Udgivet: (2022)

Influence of argon pressure on the surface morphology of thin InGaAsP/Si films
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2022)

Peculiarities of pulsed laser deposition of thin InGaAsN films in an active background gas atmosphere
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2023)

The effect of the transformation of point defects under Joule heating on efficiency of LEDs with InGaN/GaN quantum wells
af: Tarala, V. A., и др.
Udgivet: (2018)

PLD growth of InGaAsP nanowires: morphology surface and structural property
af: Sysoev, I. A., и др.
Udgivet: (2022)

Extreme environment wideband, high-efficiency photovoltaics based on new physical principles and hyperfast LPE GaAs power electronics
af: Saytiev, A. B., и др.
Udgivet: (2019)

Influence of indium concentration on the structure and surface morphology of InGaAs films obtained by liquid-phase epitaxy
af: Mitrofanov, D. V., и др.
Udgivet: (2022)

Исследование характеристик диода шоттки на основе GaAs с квантовыми ямами практикум
af: Тихов С. В.
Udgivet: (2010)

Диод Шоттки на основе GaAs: технология получения и диагностика электронное учебно-методическое пособие
af: Дорохин М. В.
Udgivet: (2013)

Исследование полосы преобразования терагерцовых смесителей на эффекте электронного разогрева в NbZr, NbN и в одиночном гетеропереходе AlGaAs/GaAs монография
af: Смирнов, А. В.

Проектирование СВЧ-усилителей на GaAs полевых транзисторах учебно-методическое пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий
af: Тяжлов В. С.
Udgivet: (2019)

Проектирование СВЧ-усилителей на GaAs полевых транзисторах учебно-методическое пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий
af: Тяжлов, В. С.

Моделирование перераспределения точечных и линейных дефектов в GaAs при локальном воздействии ионами Статья
af: Крылов П.Н

Разработка технологии получения наноразмерного ZnO легированного Ga
af: Жалыбина, Е. Г.
Udgivet: (2019)

Выращивание полупроводниковых гетероструктур с квантовыми точками InAs/GaAs методом ГФЭ МОС описание лабораторной работы
Udgivet: (2001)

Энергетическая релаксация в примесных металлах, двумерном электронном газе в AlGaAs-GaAs, сверхпроводниковых пленках NbN и детекторы субмиллиметрового и ИК излучения на их основе Монография
af: Чулкова Г.М

Энергетическая релаксация в примесных металлах, двумерном электронном газе в AlGaAs-GaAs, сверхпроводниковых пленках NbN и детекторы субмиллиметрового и ИК излучения на их основе монография

Photoluminescence of CaGa2O4 activated with rare earth ions Yb3+ and Er3+
af: Mar’in, A. P., и др.
Udgivet: (2022)

Эффективная аппаратная реализация генетического алгоритма Compact GA для поиска экстремума функций Статья
af: Борисевич А. В.

Features of the phase composition of films prepared by the simultaneous electric arc sputtering of graphite and chromium from two evaporators
af: Tarala, V. A., и др.
Udgivet: (2021)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2021)

Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2020)

Study of functional coatings of polyvinyl butyral with silver nanoparticles for photovoltaic converters
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2020)

Polymer films with silver nanoparticles improve the spectral characteristics of photovoltaic converters
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2020)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
af: Devitsky, O. V., и др.
Udgivet: (2020)

Теоретические основы и практическая реализация энергo- и реcурcocберегaющих прoцеccов в неорганической химии учебное пособие
af: Бoбрoвникoвa A. A.
Udgivet: (2017)