Influence of magnetron sputtering conditions on the structure and surface morphology of InxGa1–xAs thin films on a GaAs (100) substrate

Influence of magnetron sputtering conditions on the structure and surface morphology of InxGa1–xAs thin films on a GaAs (100) substrate

We present the results of the study of the structure and surface morphology of In x Ga1–x As thin films on a GaAs substrate. Thin films were obtained by magnetron sputtering from a specially formed In 0.45 Ga 0.55 As target in an argon atmosphere. The obtained samples of thin films were studied by...

Сохранить в:

书目详细资料
Главные авторы:	Devitsky, O. V., Девицкий, О. В., Zakharov, A. A., Захаров, А. А., Lunin, L. S., Лунин, Л. С., Sysoev, I. A., Сысоев, И. А., Pashchenko, A. S., Пащенко, А. С., Vakalov, D. S., Вакалов, Д. С., Chapura, O. M., Чапура, О. М.
格式:	Статья
语言:	Russian
出版:	2023
主题:	Magnetron sputtering A 3 B 5 compounds Thin films Surface morphology Raman scattering
在线阅读:	https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/22295
标签:	添加标签没有标签, 成为第一个标记此记录!

相似书籍

The influence of different parameters of magnetron sputtering on the structure and chemical composition of titanium alloy implant surfaces
由: Tarala, V. A., и др.
出版: (2020)

Pulsed magnetron sputtering and ion-induced annealing of carbon films
由: Shevchenko, E. F., и др.
出版: (2018)

Investigation of the phase structure and surface morphology of the titanium nano-structured coatings for dental implants deposited by the method of magnetron sputtering
由: Tarala, V. A., и др.
出版: (2018)

Pulsed laser deposition of AlxGa1–xAs and GaP thin films onto Si substrates for photoelectric converters
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2018)

Peculiarities of growing Ga1–xInxAs solid solutions on GaAs substrates in the field of a temperature gradient through a thin gas zone
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2023)

Growth of nanotextured thin films of GaInAsP and GaInAsSbBi solid solutions on GaP substrates by pulsed laser deposition
由: Pashchenko, A. S., и др.
出版: (2023)

Structure and morphology of GaInAsP solid solutions on GaAs substrates grown by pulsed laser deposition
由: Pashchenko, A. S., и др.
出版: (2022)

Ion-beam crystallization of inGaAs island nanostructures on GaAs substrates
由: Sysoev, I. A., и др.
出版: (2019)

Epitaxial growth of GaInAsBi thin films on Si (001) substrate using pulsed laser deposition
由: Pashchenko, A. S., и др.
出版: (2024)

Study of the composition of GaAs1-yBiy films obtained by pulsed laser deposition
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2022)

Effect of nitrogen pressure on the composition and structure of thin films GaAs1 - x - yNxBiy
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2024)

EFFECT OF BISMUTH CONTENT ON THE STRUCTURAL AND ELECTRONIC PROPERTIES OF GaAs1-yBiy: FIRST PRINCIPLES CALCULATIONS
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2024)

Effect of the Ag nanoparticle concentration in TiO2–Ag functional coatings on the characteristics of GaInP/GaAs/Ge photoconverters
由: Kravtsov, A. A., и др.
出版: (2018)

STRUCTURE AND COMPOSITION OF THIN GaAs1-x-yNxBiy FILMS PRODUCED BY PULSED LASER DEPOSITION
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2023)

The Study of GaInAsP/InP Heterostructures with an Array of InAs Nanoislands
由: Lunin, L. S., и др.
出版: (2022)

Influence of argon pressure on the surface morphology of thin InGaAsP/Si films
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2022)

Peculiarities of pulsed laser deposition of thin InGaAsN films in an active background gas atmosphere
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2023)

The effect of the transformation of point defects under Joule heating on efficiency of LEDs with InGaN/GaN quantum wells
由: Tarala, V. A., и др.
出版: (2018)

PLD growth of InGaAsP nanowires: morphology surface and structural property
由: Sysoev, I. A., и др.
出版: (2022)

Extreme environment wideband, high-efficiency photovoltaics based on new physical principles and hyperfast LPE GaAs power electronics
由: Saytiev, A. B., и др.
出版: (2019)

Influence of indium concentration on the structure and surface morphology of InGaAs films obtained by liquid-phase epitaxy
由: Mitrofanov, D. V., и др.
出版: (2022)

Исследование характеристик диода шоттки на основе GaAs с квантовыми ямами практикум
由: Тихов С. В.
出版: (2010)

Диод Шоттки на основе GaAs: технология получения и диагностика электронное учебно-методическое пособие
由: Дорохин М. В.
出版: (2013)

Исследование полосы преобразования терагерцовых смесителей на эффекте электронного разогрева в NbZr, NbN и в одиночном гетеропереходе AlGaAs/GaAs монография
由: Смирнов, А. В.

Проектирование СВЧ-усилителей на GaAs полевых транзисторах учебно-методическое пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий
由: Тяжлов В. С.
出版: (2019)

Проектирование СВЧ-усилителей на GaAs полевых транзисторах учебно-методическое пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий
由: Тяжлов, В. С.

Моделирование перераспределения точечных и линейных дефектов в GaAs при локальном воздействии ионами Статья
由: Крылов П.Н

Разработка технологии получения наноразмерного ZnO легированного Ga
由: Жалыбина, Е. Г.
出版: (2019)

Выращивание полупроводниковых гетероструктур с квантовыми точками InAs/GaAs методом ГФЭ МОС описание лабораторной работы
出版: (2001)

Энергетическая релаксация в примесных металлах, двумерном электронном газе в AlGaAs-GaAs, сверхпроводниковых пленках NbN и детекторы субмиллиметрового и ИК излучения на их основе Монография
由: Чулкова Г.М

Энергетическая релаксация в примесных металлах, двумерном электронном газе в AlGaAs-GaAs, сверхпроводниковых пленках NbN и детекторы субмиллиметрового и ИК излучения на их основе монография

Photoluminescence of CaGa2O4 activated with rare earth ions Yb3+ and Er3+
由: Mar’in, A. P., и др.
出版: (2022)

Эффективная аппаратная реализация генетического алгоритма Compact GA для поиска экстремума функций Статья
由: Борисевич А. В.

Features of the phase composition of films prepared by the simultaneous electric arc sputtering of graphite and chromium from two evaporators
由: Tarala, V. A., и др.
出版: (2021)

Pulsed laser deposition of gallium nitride thin films on sapphire substrates
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2021)

Pulsed laser deposition of aluminum nitride thin films onto sapphire substrates
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2020)

Study of functional coatings of polyvinyl butyral with silver nanoparticles for photovoltaic converters
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2020)

Polymer films with silver nanoparticles improve the spectral characteristics of photovoltaic converters
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2020)

Ion-beam deposition of thin AlN films on Al2O3 substrate
由: Devitsky, O. V., и др.
出版: (2020)

Теоретические основы и практическая реализация энергo- и реcурcocберегaющих прoцеccов в неорганической химии учебное пособие
由: Бoбрoвникoвa A. A.
出版: (2017)