Influence of magnetron sputtering conditions on the structure and surface morphology of InxGa1–xAs thin films on a GaAs (100) substrate
We present the results of the study of the structure and surface morphology of In x Ga1–x As thin films on a GaAs substrate. Thin films were obtained by magnetron sputtering from a specially formed In 0.45 Ga 0.55 As target in an argon atmosphere. The obtained samples of thin films were studied by...
সংরক্ষণ করুন:
প্রধান লেখক: | , , , , , , , , , , , , , |
---|---|
বিন্যাস: | Статья |
ভাষা: | Russian |
প্রকাশিত: |
2023
|
বিষয়গুলি: | |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/22295 |
ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|