Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
Zapisane w:
1. autor: | |
---|---|
Format: | ВКР |
Język: | Russian |
Wydane: |
2019
|
Dostęp online: | https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/7491 |
Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
id |
ir-20.500.12258-7491 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
ir-20.500.12258-74912019-10-08T13:43:38Z Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины Корбачев, А. С. 2019-09-25T09:19:49Z 2019-09-25T09:19:49Z 2019 ВКР Корбачев А. С. Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины : выпускная квалификационная работа : направление подготовки 22.03.01 Материаловедение и технологии материалов ; профиль подготовки Материаловедение и технологии материалов электронной техники; очной формы обучения / А. С. Корбачев; науч. рук. А. В. Штаб.- Ставрополь, 2019. - 69 с. http://hdl.handle.net/20.500.12258/7491 ru application/pdf |
institution |
СКФУ |
collection |
Репозиторий |
language |
Russian |
format |
ВКР |
author |
Корбачев, А. С. |
spellingShingle |
Корбачев, А. С. Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины |
author_facet |
Корбачев, А. С. |
author_sort |
Корбачев, А. С. |
title |
Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины |
title_short |
Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины |
title_full |
Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины |
title_fullStr |
Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины |
title_full_unstemmed |
Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины |
title_sort |
расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины |
publishDate |
2019 |
url |
https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/7491 |
work_keys_str_mv |
AT korbačevas rasčetimodelirovanietehnologičeskihparametrovprocessadiffuziiprilegirovaniikremnievojplastiny |
_version_ |
1760600885735456768 |