Przejdź do treści

Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
1. autor: Корбачев, А. С.
Format: ВКР
Język:Russian
Wydane: 2019
Dostęp online:https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/7491
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
id ir-20.500.12258-7491
record_format dspace
spelling ir-20.500.12258-74912019-10-08T13:43:38Z Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины Корбачев, А. С. 2019-09-25T09:19:49Z 2019-09-25T09:19:49Z 2019 ВКР Корбачев А. С. Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины : выпускная квалификационная работа : направление подготовки 22.03.01 Материаловедение и технологии материалов ; профиль подготовки Материаловедение и технологии материалов электронной техники; очной формы обучения / А. С. Корбачев; науч. рук. А. В. Штаб.- Ставрополь, 2019. - 69 с. http://hdl.handle.net/20.500.12258/7491 ru application/pdf
institution СКФУ
collection Репозиторий
language Russian
format ВКР
author Корбачев, А. С.
spellingShingle Корбачев, А. С.
Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
author_facet Корбачев, А. С.
author_sort Корбачев, А. С.
title Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
title_short Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
title_full Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
title_fullStr Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
title_full_unstemmed Расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
title_sort расчет и моделирование технологических параметров процесса диффузии при легировании кремниевой пластины
publishDate 2019
url https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/7491
work_keys_str_mv AT korbačevas rasčetimodelirovanietehnologičeskihparametrovprocessadiffuziiprilegirovaniikremnievojplastiny
_version_ 1760600885735456768