Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие
Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельн...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Diğer Yazarlar: | , |
| Materyal Türü: | Книга |
| Dil: | Russian |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Томск
ТПУ
2011
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10269 https://e.lanbook.com/img/cover/book/10269.jpg |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| Özet: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. |
|---|---|
| Fiziksel Özellikler: | 104 с. |
| İzleyiciler: | Книга из коллекции ТПУ - Физика |
| Bibliyografya: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 5-98298-191-5 |