Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пле...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
ТУСУР
2012
|
| Online-ссылка: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10900 https://e.lanbook.com/img/cover/book/10900.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02171nam0a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 10900 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220173902.0 | ||
| 008 | 221220s2012 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям |c Орликов Л. Н. |
| 260 | |a Москва |b ТУСУР |c 2012 | ||
| 300 | |a 31 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пленок и сорбционно-десорбционным процессам, сопровождающим формирование покрытий в вакууме. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства» по дисциплине «Технология материалов и изделий электронной техники». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Орликов Л. Н. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10900 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/10900.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/10900.jpg | ||