Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники учебное пособие
Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники,...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/126654 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126654.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ. |
|---|---|
| Объем: | 256 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7262-2398-8 |