Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники учебное пособие
Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники,...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/126654 https://e.lanbook.com/img/cover/book/126654.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03823nam0a2200337 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 126654 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174034.0 | ||
| 008 | 221220s2018 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7262-2398-8 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 539.2, 537.9, 53.082. | ||
| 084 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники |b учебное пособие |c Васильевский И. С.,Грехов М. М.,Гусев А. С.,Каргин Н. И.,Сигловая Н. В.,Стриханов М. Н.,Тимофеев А. А. |
| 260 | |a Москва |b НИЯУ МИФИ |c 2018 | ||
| 300 | |a 256 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика | |
| 100 | 1 | |a Васильевский И. С. | |
| 700 | 1 | |a Грехов М. М. | |
| 700 | 1 | |a Гусев А. С. | |
| 700 | 1 | |a Каргин Н. И. | |
| 700 | 1 | |a Сигловая Н. В. | |
| 700 | 1 | |a Стриханов М. Н. | |
| 700 | 1 | |a Тимофеев А. А. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/126654 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/126654.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/126654.jpg | ||