Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Книга |
| Ngôn ngữ: | Russian |
| Được phát hành: |
Новосибирск
НГТУ
2019
|
| Truy cập trực tuyến: | https://e.lanbook.com/book/152159 https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| LEADER | 04376nam0a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 152159 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174103.0 | ||
| 008 | 221220s2019 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7782-3915-9 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 539.23:621.38.049.77(075.8) | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники |b учебное пособие |c Васильев В. Ю. |
| 260 | |a Новосибирск |b НГТУ |c 2019 | ||
| 300 | |a 107 с. | ||
| 500 | |a Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Васильев В. Ю. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/152159 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg | ||