Кремний на Сапфире. Методы получения. Структура. Свойства учебно-методическое пособие
Технология кремний на сапфире (КНС) является основой для производства радиационно-стойких приборов. В пособии описаны основные особенности данных структур, а также представлены основные технологии их производства. Данное пособие предназначено для студентов старших курсов, специализирующихся по напра...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2017
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/153060 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153060.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Краткое описание: | Технология кремний на сапфире (КНС) является основой для производства радиационно-стойких приборов. В пособии описаны основные особенности данных структур, а также представлены основные технологии их производства. Данное пособие предназначено для студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям 11.03.04 Электроника и наноэлектроника и 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника. |
|---|---|
| Примечание: | Рекомендовано методической комиссией физического факультета ННГУ для студентов физического факультета, обучающихся по направлениям подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника (профили): твердотельная электроника и наноэлектроника; 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника Направленности (профили): материалы микро- и наносистемной техники |
| Объем: | 42 с. |
| Аудитория: | Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки |
| Библиография: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |