Выращивание эпитаксиальных слоев арсенида галлия методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений описание лабораторной работы
Эпитаксиальный рост монокристаллических слоев полупроводников из газовой фазы широко используется в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Цель данной лабораторной работы состоит в ознакомлении студентов с физико-химическими основами эпитаксиального роста методом МОСГЭ, получении...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
1999
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/153072 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153072.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 01931nam0a2200217 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 153072 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174104.0 | ||
| 008 | 221220s1999 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Выращивание эпитаксиальных слоев арсенида галлия методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений |b описание лабораторной работы |
| 260 | |a Нижний Новгород |b ННГУ им. Н. И. Лобачевского |c 1999 | ||
| 300 | |a 16 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Эпитаксиальный рост монокристаллических слоев полупроводников из газовой фазы широко используется в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Цель данной лабораторной работы состоит в ознакомлении студентов с физико-химическими основами эпитаксиального роста методом МОСГЭ, получении практических навыков работы с технологическим оборудованием и полупроводниковыми материалами. Подготовлено в Научно-исследовательском физико-технологическом институте ННГУ. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Химия | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/153072 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/153072.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/153072.jpg | ||