Метод сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии кремния с газовым источником германия практикум
Целью данной работы является ознакомление с особенностями выращивания эпитаксиальных слоев кремния, кремний-германия методом молекулярно-лучевой эпитаксии с сублимационным источником кремния и газовым источником германия, а также знакомство с вакуумным технологическим оборудованием. Рассматривается...
में बचाया:
| स्वरूप: | Книга |
|---|---|
| भाषा: | Russian |
| प्रकाशित: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2015
|
| ऑनलाइन पहुंच: | https://e.lanbook.com/book/153137 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153137.jpg |
| टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
| LEADER | 02776nam0a2200253 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 153137 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174104.0 | ||
| 008 | 221220s2015 ru gs 000 0 rus | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.315.592.61 | ||
| 084 | |a 22.37я73 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Метод сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии кремния с газовым источником германия |b практикум |
| 260 | |a Нижний Новгород |b ННГУ им. Н. И. Лобачевского |c 2015 | ||
| 300 | |a 13 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 03.04.02 «Физика» | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Целью данной работы является ознакомление с особенностями выращивания эпитаксиальных слоев кремния, кремний-германия методом молекулярно-лучевой эпитаксии с сублимационным источником кремния и газовым источником германия, а также знакомство с вакуумным технологическим оборудованием. Рассматривается влияние основных условий роста и технологических параметров на качество эпитаксиальных слоев. Приводится сравнение данного метода с другими методами выращивания эпитаксиальных слоев кремния и германия (газофазная эпитаксия и молекулярно-лучевая эпитаксия с испарением электронным лучом). Практикум предназначен для магистров физического факультета ННГУ, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 03.04.02 «Физика». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/153137 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/153137.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/153137.jpg | ||