Метод сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии кремния с газовым источником германия практикум
Целью данной работы является ознакомление с особенностями выращивания эпитаксиальных слоев кремния, кремний-германия методом молекулярно-лучевой эпитаксии с сублимационным источником кремния и газовым источником германия, а также знакомство с вакуумным технологическим оборудованием. Рассматривается...
Збережено в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2015
|
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/153137 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153137.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
