Метод сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии кремния с газовым источником германия практикум
Целью данной работы является ознакомление с особенностями выращивания эпитаксиальных слоев кремния, кремний-германия методом молекулярно-лучевой эпитаксии с сублимационным источником кремния и газовым источником германия, а также знакомство с вакуумным технологическим оборудованием. Рассматривается...
Sábháilte in:
Formáid: | Книга |
---|---|
Teanga: | Russian |
Foilsithe / Cruthaithe: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2015
|
Rochtain ar líne: | https://e.lanbook.com/book/153137 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153137.jpg |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|