Градиентная эпитаксия для получения микро и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV . Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединени...
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Další autoři: | |
Médium: | Книга |
Jazyk: | Russian |
Vydáno: |
Ставрополь
СКФУ
2015
|
On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/155169 https://e.lanbook.com/img/cover/book/155169.jpg |
Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|