Физические основы микро- и нанотехнологии учебное пособие
Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифрова...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Пермь
ПНИПУ
2011
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/160409 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160409.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02779nam0a2200289 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 160409 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174110.0 | ||
| 008 | 221220s2011 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-398-00638-4 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.396 | ||
| 084 | |a 32.844 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Физические основы микро- и нанотехнологии |b учебное пособие |c Иванов А. С.,Пахомов Г. И. |
| 260 | |a Пермь |b ПНИПУ |c 2011 | ||
| 300 | |a 311 с. | ||
| 500 | |a Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифровая обработка изображений, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы измерений в микро- и нанотехнике. Предназначено для студентов высших учебных заведений. Может быть полезно специалистам по радиоэлектронике. Издано в рамках программы опережающей профессиональной подготовки (уровень – магистратура), ориентированной на инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями Фонда инфраструктурных и образовательных программ «Роснано». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции ПНИПУ - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Иванов А. С. | |
| 700 | 1 | |a Пахомов Г. И. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/160409 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/160409.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/160409.jpg | ||