Физические основы микро- и нанотехнологии учебное пособие
Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифрова...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Пермь
ПНИПУ
2011
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/160409 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160409.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
