Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами монография
Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изуче...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | |
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Kieli: | Russian |
| Julkaistu: |
Пермь
ПНИПУ
2010
|
| Linkit: | https://e.lanbook.com/book/160423 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160423.jpg |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
| Yhteenveto: | Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN. Предназначено для студентов и аспирантов, преподавателей, исследователей в области технологии получения износостойких покрытий. |
|---|---|
| Ulkoasu: | 126 с. |
| Yleisö: | Книга из коллекции ПНИПУ - Инженерно-технические науки |
| Bibliografia: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-398-00527-1 |