Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами монография
Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изуче...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Пермь
ПНИПУ
2010
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/160423 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160423.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
