Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами монография
Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изуче...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Пермь
ПНИПУ
2010
|
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/160423 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160423.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|