Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганич...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Новосибирск
НГТУ
2021
|
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/216209 https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Краткое описание: | Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов нитрида кремния, диоксида кремния, силикатных стекол при ХОГФ для использования в технологиях микро- и наноэлектроники с проектно-технологическими нормами более 150 нм. Рассматривается алгоритм анализа патентов по тематике ТП для технологий ИМС. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет. Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуетсядля магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий. |
|---|---|
| descrición da copia: | Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия |
| Descrición Física: | 100 с. |
| Público: | Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки |
| Bibliografía: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7782-4389-7 |