Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганич...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Новосибирск
НГТУ
2021
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/216209 https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03550nam0a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 216209 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174149.0 | ||
| 008 | 221220s2021 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7782-4389-7 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 539.23 : 621.38.049.77(075.8) | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники |b учебное пособие |c Васильев В. Ю. |
| 260 | |a Новосибирск |b НГТУ |c 2021 | ||
| 300 | |a 100 с. | ||
| 500 | |a Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов нитрида кремния, диоксида кремния, силикатных стекол при ХОГФ для использования в технологиях микро- и наноэлектроники с проектно-технологическими нормами более 150 нм. Рассматривается алгоритм анализа патентов по тематике ТП для технологий ИМС. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет. Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуетсядля магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Васильев В. Ю. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/216209 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg | ||