Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганич...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Книга |
| Jazyk: | Russian |
| Vydáno: |
Новосибирск
НГТУ
2021
|
| On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/216209 https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|