Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганич...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicado: |
Новосибирск
НГТУ
2021
|
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/216209 https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|