Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганич...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Taal: | Russian |
| Gepubliceerd in: |
Новосибирск
НГТУ
2021
|
| Online toegang: | https://e.lanbook.com/book/216209 https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|