Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганич...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 語言: | Russian |
| 出版: |
Новосибирск
НГТУ
2021
|
| 在線閱讀: | https://e.lanbook.com/book/216209 https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|