Технологические среды пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «технология материалов и компонентов электронной техники»
Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения расчетно-практических работ по курсу «Технологические среды»; расчетнопрактические работы, посвященные основным технологическим средам для производства интегральных микросхем и материалов для них; теоретические сведения...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Минск
БНТУ
2018
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/248576 https://e.lanbook.com/img/cover/book/248576.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02151nam0a2200265 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 248576 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20221220174201.0 | ||
| 008 | 221220s2018 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-985-583-049-9 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 66.07(076)=161.1 | ||
| 084 | |a 35.114я73 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технологические среды |b пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «технология материалов и компонентов электронной техники» |c Балохонов Д. В. |
| 260 | |a Минск |b БНТУ |c 2018 | ||
| 300 | |a 72 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения расчетно-практических работ по курсу «Технологические среды»; расчетнопрактические работы, посвященные основным технологическим средам для производства интегральных микросхем и материалов для них; теоретические сведения о вакууме, способах его получения и оборудовании для этого; информацию о способах очистки воздуха при производстве полупроводниковых приборов. Предназначено для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции БНТУ - Инженерно-технические науки | |
| 100 | 1 | |a Балохонов Д. В. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/248576 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/248576.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/248576.jpg | ||