Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 3. Эпитаксиальный рост учебник для вузов
Представлены основные виды эпитаксиальных технологий. Рассмотрено конструктивное оформление и основные параметры наиболее распространенных видов эпитаксиального роста. Сформулированы требования к эпитаксиальным подложкам и описаны основные этапы их подготовки для эпитаксии. Рассмотрены особенности з...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | , |
| 格式: | Книга |
| 語言: | Russian |
| 出版: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://e.lanbook.com/book/302363 https://e.lanbook.com/img/cover/book/302363.jpg |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|
